摘要
本发明涉及气体检测技技术领域,尤其为一种多气体精准探测方法及系统,方法步骤如下:待测气体在微型气泵驱动下,流经MEMS工艺制备的微型气体富集器,其内部螺旋形进气流道表面的石墨烯与金属氧化物复合敏感材料吸附富集目标气体;加热脱附浓缩气体至多气体复合探测器,传感器阵列与气体反应产生电信号;数据采集单元对电信号进行降噪、放大、模数转换预处理;数据处理单元提取响应曲线峰值、上升斜率等特征向量;将特征向量输入预训练的机器学习分类‑回归联合模型,输出气体种类标识与初始浓度;结合环境温湿度及交叉敏感性干扰模式库进行误差补偿,最终输出至少9种气体的精确信息。本发明具备高灵敏度、强抗干扰性与微型化优势。
技术关键词
气体复合探测器
微型气体富集器
传感器阵列
下降斜率
金属氧化物
误差补偿算法
误差补偿模型
数据采集单元
数据处理单元
电信号
三维多孔纳米结构
待测气体
曲线
机器学习算法
面积特征
石墨烯材料
识别误差
复合敏感材料
标识
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