一种基于输入激励的压电执行器迟滞精细辨识与补偿方法

本发明公开了一种基于输入激励的压电执行器迟滞精细辨识与补偿方法，属于微纳控制技术领域，包括：在输入激励辨识阶段，基于Bouc‑Wen模型建立压电执行器动力学模型，设计分段斜坡形式的电压输入激励信号，并建立压电执行器增广动力学模型；基于压电执行器增广动力学模型设计输入激励迟滞观测器，并基于输入激励迟滞观测器的输出，解算得到迟滞参数辨识值；进入位移控制阶段，基于采用迟滞参数辨识值的压电执行器动力学模型，设计迟滞精细观测器和带迟滞补偿的位移跟踪控制律。本发明实现了精密运动控制过程中对迟滞非线性的精确估计和补偿，可显著提升空间、对地观测等精密任务中压电执行器位移控制的精确性、稳定性与鲁棒性。