一种VCSEL芯片清洗装置及清洗工艺

本发明公开了一种VCSEL芯片清洗装置及清洗工艺，涉及芯片清洗技术领域，包括机体，所述机体内设置有若干个清洗组件，所述清洗组件沿着机体的侧边等距布置，所述清洗组件由放置槽和移动体组成，所述放置槽位于机体靠近底部的一侧，所述移动体位于机体靠近顶部的一侧，所述移动体与机体滑动连接，所述移动体与放置槽转动连接；研磨盘在绕八字转动又绕着移动体的轴线进行公转运动的过程中，控制器控制转动体内的微型电机启动，微型电机的驱动轴随即带动研磨盘转动，研磨盘随即产生自转，使得研磨盘在自转与公转相结合的状态下进行绕八字运动，对晶圆表面进行研磨处理。