摘要
本申请涉及微机电系统领域,公开一种磁路模组、微机电系统转镜及激光通信终端。磁路模组包括第一磁轭、永磁体和第二磁轭;第一磁轭包括第一端面和第二端面,第二磁轭包括第三端面和第四端面;第一端面与永磁体的第一磁极连接,第三端面与永磁体的第二磁极连接;第二端面和第四端面相对,用于形成气隙;第二端面的面积小于第一端面的面积;和/或,第四端面的面积小于第三端面的面积。本申请实施例可以明显提升面积较小的第二端面和/或第四端面处的磁通量密度,从而提升气隙内的磁通量密度。
技术关键词
微机电系统
磁路
模组
外框架
激光通信终端
磁轭
转镜
气隙
永磁体
磁通量密度
镜面
内轴
柔性
线圈组件
磁极
尺寸
底座
芯片