光罩排版数据的检查方法、装置及电子设备

本发明提供了一种光罩排版数据的检查方法，在确定初始光罩排版后，获取定版主芯片版图，并根据定版主芯片版图以及初始光罩排版生成制版文件，然后根据制版文件生成第二光罩排版，并将第二光罩排版与初始光罩排版进行对比，得到对比结果，从而基于对比结果判断制版文件的正确性。通过第二光罩排版与初始光罩排版的版图直观对比来判断制版文件的正确性，能够在光罩厂合并数据之前就能提早检查制版文件的正确性，同时避免了人工检查可能导致的漏检等问题，从而有效的提高了光罩排版数据检查的效率以及准确度，避免了光罩厂返工、漏检导致的项目出版时间延误、产品良品率低下等问题。