一种基于三梯度微圆顶多孔结构的柔性双模电容触觉传感器

本发明为一种基于三梯度微圆顶多孔结构的柔性双模电容触觉传感器。该传感器采用三明治构型，包括上电极层、TGP电介质层、下电极层；其中，上电极层和下电极层，分别覆盖在TGP电介质层的上、下表面；TGP电介质层包括梯度部分和多孔部分，多孔部分位于下电极层上表面，梯度部分分布在多孔部分上；梯度部分包括三种微圆顶结构，以及平顶凸起。本发明充分利用两个结构不同的压力工作特性，使多孔结构工作于低压力区，梯度结构工作在中高压力区，实现了二者性能的协同增强，拓宽了传感器的线性范围，进一步提升了灵敏度。