一种调整撕膜力度和速度的控制方法

本发明提供了一种调整撕膜力度和速度的控制方法，属于撕膜技术领域，包括：基于预设的膜材特性数据库获取初始撕膜角度数据与张力设定值数据,基于晶圆尺寸与解键合工艺参数，获取撕膜路径与期望位置序列;基于力传感器获取实时撕膜张力数据，基于编码器与位置传感器获取实时撕膜角度数据与实时位置数据；基于实时撕膜张力数据与实时撕膜角度数据获取撕膜异常标志位，基于实时位置数据与期望位置序列获取位置偏差标识；基于位置偏差标识获取位置控制量，基于撕膜异常标志位与初始张力设定值获取张力控制量；基于位置控制量与张力控制量获取总控制作用力指令并执行，减少因角度偏差未被察觉而引发晶圆位置偏移、撕膜路径偏离的风险。