一种调整撕膜角度的控制方法

本发明提供了一种调整撕膜角度的控制方法，属于撕膜技术领域，包括：基于预设的膜材特性数据库，获取初始撕膜角度数据与张力设定值数据；基于晶圆尺寸与解键合工艺参数获取期望角度序列；基于力传感器获取实时撕膜张力数据，基于角度传感器获取实时撕膜角度数据；基于实时撕膜张力数据与实时撕膜角度数据获取撕膜异常标志位；基于实时角度数据与期望角度序列，获取角度偏差量；根据角度偏差量获取角度补偿量，基于撕膜异常标志位获取张力补偿量；基于角度补偿量与张力补偿量获取总角度调整指令并执行，并对步骤S2至步骤S5进行循环，对撕膜角度与张力进行实时调控，减少撕膜角度不匹配的问题。