基于自适应PID的半导体加热器温度控制方法

本发明涉及半导体制造技术领域，公开了基于自适应PID的半导体加热器温度控制方法。该方法包括实时采集半导体加热器多监测点温度数据，构建温度场分布矩阵，以完整呈现加热器温度分布；再基于此矩阵生成设定温度轨迹，通过自适应PID控制器对加热功率实施闭环调节，使温度稳定贴合设定轨迹；闭环调节中，依据温度波动趋势动态重构PID参数模糊规则库，强化控制器自适应能力；当检测到温度异常区域，触发多层级补偿机制对控制器进行相位校正，快速处理异常。该方法可优化温度控制精准度与稳定性，应对温度波动及异常，契合半导体制造对温度控制的严苛需求。