一种钙钛矿刻划装置多光路间距调整划线控制系统及方法

本申请提出一种钙钛矿刻划装置多光路间距调整划线控制系统及方法。本发明针对钙钛矿太阳能电池激光加工中多路激光线间距均匀度不足、轨迹跟随同步性差及线宽线深稳定性低的技术问题，通过集成激光发射模块、视觉定位模块、光路间距调节模块、轨迹协同控制模块及激光焦点补偿模块构建控制体系，通过实时修正线间距偏差与轨迹偏移、动态适配衬底表面平整度变化，有效解决了传统技术中机械调节响应滞后、轨迹错位及焦点固定导致的加工缺陷，实现线间距均匀度、轨迹同步精度、线宽线深稳定性均得到明显提升，动态线间距切换响应时间≤1秒，可满足大尺寸衬底量产需求，为钙钛矿电池高效规模化生产提供技术支撑。