一种晶圆搬运速度控制方法及控制系统

本发明公开了一种晶圆搬运速度控制方法及控制系统，控制方法包括：获取搬运路径三维数据并分解为直线与弯曲段，得到几何特征；计算弯曲段曲率并平滑连接，确定连续曲率分布；依据曲率动态约束各点速度上限，生成初步速度曲线；通过逆运动学计算各轴速度，迭代优化至各轴速度协调，生成多轴协同速度序列；基于实时传感器数据融合计算姿态偏差；据此动态调节加速度参数，优化减小偏差，得到最终控制指令。本发明的控制方法通过曲率动态规划、多轴协同优化和实时姿态自适应调整，系统性地实现了搬运速度与平稳性的同步提升。