基于哈希算法的晶圆生产工况异常识别方法、装置及设备

本发明提供了一种基于哈希算法的晶圆生产工况异常识别方法、装置及设备，属于晶圆分析领域，具体包括实时接收当前晶圆加工数据；采用特征哈希对每个工作参数项的当前加工数值进行哈希映射，得到当前特征哈希值；采用记录哈希对每条当前晶圆加工数据进行组合哈希映射，得到当前记录哈希值；根据当前时间戳，获取映射到哈希桶的当前特征哈希值和当前记录哈希值的记录频率，并评估当前晶圆加工数据在时间维度上的异常。本申请的处理方案，可以针对晶圆生产的流式数据高效且快速地进行异常分析，且分析准确率高减少了人工复检的晶圆生产工况。