一种压电微定位平台的控制方法及系统

本发明公开了一种压电微定位平台的控制方法及系统，涉及微定位平台技术领域，包括以下步骤：获取压电微定位平台在当前时刻的输入电压、输出位移以及位移误差；将当前时刻的输入电压与输出位移输入至卡尔曼滤波器，得到当前时刻的估计状态量；将当前时刻的估计状态量与位移误差输入至DLQT控制器进行最优控制律求解，得到下一时刻的输入电压；将下一时刻的输入电压输入至压电微定位平台，得到下一时刻的输出位移。本发明将压电微定位平台的非线性模型通过Koopman线性化模型进行表征，得到Koopman线性模型，避免了迟滞补偿器的设计，直接采用线性控制策略设计控制器，降低了控制器的设计复杂度。