数据检测方法及其系统、检测装置、计算机设备及存储介质

本申请提供了一种数据检测方法及其系统、检测装置、计算机设备及存储介质，本申请获取行星式反应腔内各晶圆表面的检测信号，基于触发信号切割检测信号得到第一信号序列和第二信号序列；采用分类模型处理第一信号序列，得到各晶圆上的材料类型；基于材料类型查询对应的光学模型；采用解耦算法对光学模型、第一信号序列和第二信号序列进行迭代优化，得到温度检测值和反射率检测值。本申请基于触发信号将原始的检测信号分割为单独的信号序列，进而根据单独的信号序列确定材料类型，根据材料类型选择对应的光学模型，最后根据光学模型解耦得到精确度较高的温度检测值和反射率检测值，实现了单个晶圆信号的精确解析，大幅提高了工艺重复性和稳定性。