减振系统、方法及半导体制造设备

本申请涉及一种减振系统、方法及半导体制造设备，该系统包括相对间隔设置的底板和顶板以及设于底板和顶板之间的减振支撑组件；减振支撑组件包括多个支撑腿、多个从机箱、主机箱、多个阀和多个致动器；多个支撑腿用于支撑顶板；多个从机箱用于分别获取多个支撑腿的振动数据；主机箱用于对多个支撑腿的振动数据进行整合并确定减振系统的整体振动数据，并将整体振动数据发送至每个从机箱；每个从机箱还用于根据整体振动数据和振动数据确定每个支撑腿的减振修正指令；多个致动器用于根据减振修正指令对所述每个支撑腿进行减振调节；对于任意大运动台面，均能根据需要对任意单点进行减振。