一种微纳光栅线偏差快速检测方法及系统

本发明涉及光学检测技术领域，尤其涉及一种微纳光栅线偏差快速检测方法及系统；本发明采用编码照明技术构建结构化复合光场，通过多通道并行照明突破单通道检测限制；基于傅里叶空间多帧成像获取复合衍射光斑分布数据；利用二阶强度关联函数获取传统强度测量无法获得的相干性和时间关联特性；构建联合正向物理模型，通过迭代反演算法重构光栅复振幅分布和线边粗糙度参数，进行微纳光栅线偏差检测；本发明结合多通道编码照明与二阶强度关联函数分析，通过并行检测减少测量时间，利用通道间冗余信息提高检测可靠性，在保证精度的同时显著提升检测效率。