改善晶圆多形态翘曲的方法及系统

本发明提供一种改善晶圆多形态翘曲的方法及系统，方法包括步骤：1）测量晶圆的初始翘曲形貌，获取形变分布数据；2）通过有限元仿真模型计算晶圆翘曲的三维形变并以此为基础，基于所述实测形变分布数据，通过线性叠加法优化晶圆背面应力膜的参数，使应力膜产生与初始翘曲形貌相反的形变分布；3）在晶圆背面制备出弓形应力膜；4）测量优化后的晶圆的形变分布数据；5）判断优化后的晶圆的翘曲值是否满足要求；6）通过反推修正应力膜的参数，并修正应力膜的参数。本发明可抵消各种类型的初始形变，以达到最大程度上减小生产流程中特定步骤产生翘曲，充分保证产品质量和可靠性要求。