半导体厂务系统中化学品用量优化方法、系统及设备

本发明公开了一种半导体厂务系统中化学品用量优化方法、系统及设备，方法包括以下步骤：获取历史数据，所述历史数据包括进水流量、进水PH值、化学品用量和出水PH值；使用时间序列模型预测未来多个时刻的进水流量和进水PH值；基于预测的进水流量、预测的进水PH值和化学品用量，通过多项式非线性回归模型计算预测出水PH值；使用非线性规划求解方法，以最小化化学品成本为目标，在约束条件下求解优化化学品用量；输出优化后的化学品用量。本发明能够高效、准确且系统化地处理多变量时序数据、建模复杂非线性关系，并能在实际约束下实现成本最优的化学品用量优化。