一种VCSEL外延片生长过程的实时数据监控预警方法

本发明涉及数据处理技术领域，更具体地，本发明涉及一种VCSEL外延片生长过程的实时数据监控预警方法，包括：利用MOCVD设备获取VCSEL外延片生长过程中在当前时刻外延片所用材料的折射率；确定当前时刻外延片的生长速率；确定当前时刻外延片的生长速率的突变度；确定当前时刻外延片的生长速率的修正突变度；确定当前时刻的预警阈值；根据所述修正突变度与所述预警阈值的大小，以实现VCSEL外延片生长过程的实时数据的监控预警。本发明实现生长速率精确反演与突变智能识别，有效区分异常与正常工艺变化，自适应调节预警阈值，降低误报率，提升VCSEL外延生长监控的准确性与实用性。