基于FDTD算法的三维体声波谐振器器件热-力-电耦合分析方法

本发明公开了一种基于FDTD算法的三维体声波谐振器器件热‑力‑电耦合分析方法，涉及体声波谐振器领域，包括：建立三维薄膜体声波谐振器几何模型；对三维薄膜体声波谐振器几何模型进行参数和边界条件设置以及六面体网格剖分，得到元胞结构；基于元胞结构，建立热‑力‑电耦合方程；其中，热‑力‑电耦合方程包括压电本构方程、电场方程、力学运动方程、热传导方程和热膨胀方程；利用时域差分有限法求解热‑力‑电耦合方程，得到热‑力‑电耦合方程中的各项物理参数。本发明提高了计算效率和计算精度，更符合薄膜体声波谐振器的实际特性。