高密度桥连封装方法和封装结构

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高密度桥连封装方法和封装结构
申请号:CN202511493874
申请日期:2025-10-20
公开号:CN121034962A
公开日期:2025-11-28
类型:发明专利
摘要
本申请提供的一种高密度桥连封装方法和封装结构,涉及半导体封装技术领域。该高密度桥连封装方法包括提供具有第一芯片和第一金属柱的载具;第一芯片和第一金属柱设于载具的同一侧,且相互有间隔。第一芯片设有第一焊盘。第一芯片设有保护层,保护层具有露出第一焊盘的第一凹槽。在载具上形成包覆第一芯片和第一金属柱的第一塑封体。在第一塑封体上开设露出第一焊盘的第二凹槽。在第二凹槽形成与第一焊盘电连接的第一导电柱。在第一塑封体上形成第一布线层;第一布线层分别与第一金属柱和第一导电柱电连接。可避免第一导电柱的间隙过小导致塑封体填充不足的空洞现象,以及确保第一导电柱的间隙均匀,提升与布线层连接的可靠性。
技术关键词
封装方法 布线 封装结构 芯片 高密度 导电柱 凹槽 焊盘 曝光显影方式 半导体封装技术 衬底 空洞现象 开槽方式 光刻胶 缓冲 受力 蚀刻 激光
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