摘要
本公开提供了一种半导体器件,涉及半导体芯片技术领域,旨在解决半导体器件电场分布不均匀问题;该半导体器件,包括:衬底、外延层、源极、漏极、栅极和电场调制区;外延层设于衬底上;源极、漏极和栅极嵌设于外延层;电场调制区,设于外延层远离衬底的一侧,且嵌设于外延层;电场调制区包括相互连接的第一电场调制子区和第二电场调制子区,第二电场调制子区包括第一部分和第二部分;第一部分位于第一电场调制子区远离衬底的一侧,第二部分位于第一电场调制子区远离漏极的一侧;第一部分和第二部分相连接,第一电场调制子区的掺杂类型与外延层的掺杂类型相同,第二电场调制子区的掺杂类型与外延层的掺杂类型不同;掺杂类型为P型掺杂和N型掺杂。
技术关键词
电场
半导体器件
离子掺杂
外延
衬底
半导体芯片技术
栅极
阶梯状
尺寸
间距
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