检测探头、检测电路和检测装置

本发明提供了一种检测探头、检测电路和检测装置，涉及微型发光二极管检测技术领域。该检测探头包括：底座；检测部，固定设置于底座的表面，检测部用于与待测芯片的电极接触，以向待测芯片输入激励信号；以及导电膜层，设置于底座的表面，且与检测部电连接，导电膜层用于向检测部传输激励信号，其中，底座被配置为在沿垂直方向的外力的作用下，产生沿垂直方向的弹性形变，垂直方向表示垂直于待测芯片的表面的方向。该检测电路包括：多个检测单元，多个检测单元包括多个检测探头，多个检测单元与多个发光二极管单元各自对应；以及多条导线，分别与多个检测探头的导电膜层电连接。