摘要
本发明属于锗酸盐微晶玻璃技术领域,公开了一种基于宽温域的零膨胀微晶玻璃及其制备方法和应用,其中,所述基于宽温域的零膨胀微晶玻璃包括40%≤GeO2≤52%;3%≤Ga2O3≤5%;26%≤SiO2≤35%;10%≤Al2O3≤13%;1.5%≤Y2O3≤3%;3%≤B2O3≤5%;所述零膨胀微晶玻璃的晶相包括β‑(Ga,Y)2GeO5固溶体相与锗石英相,其中,β‑(Ga,Y)2GeO5固溶体相由Ge元素、Y元素以及Ga元素的摩尔百分比确定;本发明不含锂元素和磷元素,能够显著缩短热处理时间,还能够在‑50~100 ℃的宽温域范围内热膨胀系数≤0.05 ppm/℃,实现近零膨胀特性。
技术关键词
微晶玻璃技术
元素
石英
四面体结构
激光
生物芯片
气氛
内热
保温
热处理
密度
载板
氦气
基体
氮气
波长
速率
速度
尺寸