一种半导体设备的部件运维预测方法、系统、设备及介质

本申请提供一种半导体设备的部件运维预测方法、系统、设备及介质，方法包括：在设备运行过程中采集多因子运行数据，并对多因子运行数据进行归一化处理，形成归一化任务执行时长、归一化能耗数据及归一化电流波形序列；基于归一化的多因子运行数据，按照任务类型及残差时间窗口对第一操作臂与第二操作臂的对应数据进行对比，形成任务时长残差特征、能耗残差特征及电流波形残差特征，并联合构建镜像残差特征向量；将镜像残差特征向量输入至预测模型，预测模型对连续时间窗口的残差特征进行分析，生成异常评分集合，并通过双阈值判定机制对固定180°对置双操作臂的工作状态进行异常判定，得到异常结果数据；基于异常结果数据，输出预警提示。