一种基于微流道散热的反射镜制备方法

本发明属于反射镜技术领域，具体公开了一种基于微流道散热的反射镜制备方法，该方法包括：获取第一、第二镜体并于其一侧镀制反射膜；依据镜体三维数据进行微流槽参数化设计，建立仅以几何参数为自变量的优化模型，通过耦合传热—流体—结构仿真输出性能评价指标，基于评价结果对几何参数进行迭代更新；生成加工参数，采用皮秒激光刻蚀形成微流槽，并以飞秒激光对槽壁抛光；依次执行去离子水冲洗—氧化铈研磨—碳酸氢钠清理—二次冲洗；将两镜体键合成镜面。该方法在满足加工、公差与运行边界约束下，实现镜面低温升、低面形变化与低压降的综合优化，提升高功率应用下的光学稳定性与可靠性。