一种基于声光调制的激光雷达片上集成芯片及片上声光扫描方法及激光雷达系统

本申请涉及一种基于声光调制的激光雷达片上集成芯片及片上声光扫描方法及激光雷达系统。在铌酸锂薄膜上设置了多组叉指换能器，其中两组啁啾IDT分别工作在低频段和高频段，低频段声波对应产生较大的布拉格偏转角；高频段声波对应产生较小的布拉格偏转角。两组IDT协同工作，可在芯片平面内实现双频宽带的二维矢量扫描；设置的一对聚焦型IDT能够在作用区内形成聚焦声场，使经过二维偏转后的光束在Z方向上发生可控偏转，从而赋予芯片三维扫描能力。本发明衍射效率高、功耗低；实现了大范围搜索与高精度扫描的统一；通过集成专用的聚焦型叉指换能器实现Z轴偏转，在单片集成声光芯片上实现了三维扫描功能，结构极为紧凑。