缺陷检测模型建立方法、装置、设备及缺陷检测方法

本申请涉及一种缺陷检测模型建立方法、装置、设备及缺陷检测方法。包括：获取晶圆图像；对晶圆图像进行数据预处理，以得到模型训练数据集；基于微缺陷增强与多尺度视野网络，对所述模型训练数据集进行处理，以获取缺陷专用特征；利用量子启发的稀疏特征重构网络，对缺陷专用特征进行量子态编码处理以及特征重构，以得到初始模型并生成初始模型的结果特征；采用动态聚焦微调损失函数，基于结果特征对所述初始模型进行优化，以得到检测模型。该缺陷检测模型建立方法能够大大降低缺陷检测的人力物力成本，提升了检测效率和识别准确率。