一种双手指机械臂及其控制方法、晶圆传输机器人

本发明公开了一种双手指机械臂及其控制方法、晶圆传输机器人，以支持每次伸缩存/取两片晶圆。其中该双手指机械臂包括：双轴同心驱动器、大臂单元、小臂单元、末端执行器，其中所述末端执行器上设有两个互呈反向布置的手指，所述大臂单元包括：大臂架、大臂带轮机构，所述小臂单元包括：小臂架、小臂带轮机构，所述大臂带轮机构的从动端与设置在大臂架第一端的第一凸轴轴接，所述双轴同心驱动器的内驱轴、外驱轴，分别与大臂带轮机构的传动端及大臂架第二端连接，所述小臂架第一端与大臂带轮机构从动端连接，所述小臂带轮机构的肘端与第一凸轴连接、传动端一端与设置在小臂架第二端的第二凸轴轴接，另一端与所述末端执行器轴心部连接。