摘要
本申请公开了一种SPICE模型中局部失配偏移率的测试结构及方法,测试结构包括:第一晶体管和第二晶体管,所述第一晶体管和第二晶体管分别包括第一源端、第一漏端、栅端和衬底端四个测试端,其中,所述第一晶体管和第二晶体管还分别包括:第二源端和第二漏端两个测试端。本申请提供的SPICE模型中局部失配偏移率的测试结构及方法,通过将测试结构中的两个晶体管分别设置6个测试端,从而提高测试的准确性。
技术关键词
测试结构
晶体管
SPICE模型
衬底
栅极
外延
测试方法
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