一种人形机器人执行器用磁码盘材料及其制备方法与应用

本发明涉及磁码盘材料技术领域，具体公开了一种人形机器人执行器用磁码盘材料及其制备方法与应用，其中，人形机器人执行器用磁码盘材料包括依次层叠设置的基底、Bi层、AlNiFeCo薄膜、Nb层以及Ta层。本发明提供的新型结构设计，引入Bi层和Nb层双插层包覆结构，两者协同作用于AlNiFeCo薄膜，满足高精度磁编码器码盘材料对高矫顽力和高剩磁的应用需求，同时，元素扩散是弥散的钉扎网络分布，有利于码盘写磁时获得均匀一致的高质量弦波信号输出性能；本发明制备的磁码盘材料适用于高性能、高均匀性磁码盘材料制备和高精度、小型化磁编码器技术中，在人形机器人执行器中具有很好的应用前景。