一种低复合率气体解离腔体结构

本发明属于远程等离子体源技术领域，提供了一种低复合率气体解离腔体结构，包括进气口、进气端长腔体、短腔体、出气端长腔体、出气口、点火线、真空泵和出气口气体压力仪，进气端长腔体的上端和进气口连接，进气端长腔体接地；短腔体的上端和进气端长腔体的下端连接；出气端长腔体的上端和短腔体的下端连接，出气端长腔体接地；出气口和出气端长腔体的下端连接；点火线和短腔体连接；腔体内径；腔体长度，出气口直径S=L×(25%~35%)。本发明通过增大气体解离腔体出气口面积，降低气体解离后自由基的复合率，进而高效产生活性自由基，为刻蚀/沉积提供高反应通量，从而提高芯片产能和良率。