摘要
本申请公开一种麦克风及其制备方法,涉及电声器件技术领域。该麦克风,包括线路板和外壳,线路板和外壳扣合形成安装空间,线路板上开设有声孔,安装空间内设置有支撑结构和MEMS芯片,支撑结构具有透气区域,MEMS芯片通过声孔与透气区域形成的气流通道接收外界的声音信号,支撑结构包括依次设置在线路板上的支撑层、网格层和硅托层,MEMS芯片通过硅托层设置于网格层上,支撑层位于透气区域的部分具有镂空结构,网格层位于透气区域的部分设有多个透气孔,硅托层位于透气区域的部分设有贯通孔;支撑层采用有机感光材料制备。该麦克风及其制备方法,能够简化麦克风的结构和制造工艺,提高麦克风制造的一致性,同时提高麦克风的信噪比。
技术关键词
MEMS芯片
临时键合结构
网格
线路板
ASIC芯片
硅衬底
疏水材料
光敏聚酰亚胺
感光材料
电声器件技术
简化麦克风
透气孔
通孔
氧化层
涂敷
光刻胶
氮化硅
外壳
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