摘要
本发明提供一种工艺配方调试方法、装置、设备及介质,该方法包括:获取样本数据集;获取机理关系;基于样本数据集和机理关系,训练得到目标预测模型;将目标产品对应的工艺前产品信息和目标工艺结果输入至目标预测模型,得到调试工艺配方;获取采用调试工艺配方试验加工目标产品时得到的试验工艺结果,并验证试验工艺结果与目标工艺结果是否匹配;若不匹配,向模型反馈试验工艺结果,以使模型根据试验工艺结果修正调试工艺配方,而后重新进行试验验证和修正,直至试验工艺结果与目标工艺结果匹配,将匹配时采用的调试工艺配方作为目标工艺配方。本发明能够避免依赖人工经验进行工艺配方调试而导致调试过程复杂且效率低下的问题。
技术关键词
调试方法
样本
等离子体刻蚀工艺
时间序列分析方法
数据
关系
机器学习方法
刻蚀形貌
统计学方法
参数
模型训练模块
调试装置
处理器
精度
依赖人工
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