一种高性能Z轴加速度计及其制备方法

本公开提供一种高性能Z轴加速度计及其制备方法，其包括活动电极层和两个固定电极板，两个固定电极板分别覆盖于活动电极层的相对两侧；活动电极层包括电极框体和两个密封框体，每一固定电极板与电极框体之间设有一个密封框体；活动电极层还包括悬臂梁和质量块，电极框体围成闭合的框体结构，悬臂梁与质量块均位于电极框体的内侧，悬臂梁的两端分别连接电极框体与质量块，高性能Z轴加速度计沿着Z轴处于非加速状态时，每一固定电极板与质量块之间存在间隙。通过在活动电极层的双面设置密封框体，可以显著降低芯片寄生电容，提高工艺可靠性。通过合理设计质量块和悬臂梁的结构，平衡芯片灵敏度和动态响应特性，提升结构抗冲击能力。