一种多轨迹晶圆搬运机械手及控制方法

本发明涉及晶圆技术领域，具体涉及一种多轨迹晶圆搬运机械手及控制方法，采用机械臂组件及末端执行器执行动作，其中机械臂组件包括三个依次转动连接的执行手臂；末端执行器安装于距离基座最远的执行手臂的末端位置，方法如下：S1：设定安全区域使多个执行手臂在运动中始终处于安全区域内；S2：在安全区域内从边界逐渐向中心迭代每个点的坐标，并生成安全链路；S3：在一个安全链路中，末端执行器始终朝向站点位置，并使末端执行器的中心沿安全链路移动，计算每个点的相邻执行手臂之间的角度a、b、c以及执行手臂与末端执行器之间的角度d；S4：对步骤S3中的距离C进行遍历优化，并找到最优的C值；S5：根据最优C值获得最优时间。