一种微通道制冷边发射激光器及制备方法

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一种微通道制冷边发射激光器及制备方法
申请号:CN202511528212
申请日期:2025-10-24
公开号:CN121035761A
公开日期:2025-11-28
类型:发明专利
摘要
本申请涉及包装盒的技术领域,尤其是涉及一种微通道制冷边发射激光器及制备方法,包括衬底,衬底上设有过渡层和外延层,衬底朝向过渡层的一面为正面,衬底背离过渡层的一面为背面,正面上刻蚀有扩散通道,背面刻蚀有水循环进出口通道,水循环进出口通道与扩散通道相连通,水循环进出口通道和扩散通道在水平方向上相互垂直。正面芯片工作时,外部冷却水从背面水循环进出口通道进入,经过正面的扩散通道向两侧扩散到出水口方向,将热量带走,通过控制流水量和大小和速度来控制芯片下方的工作温度。
技术关键词
隔离沟槽 激光器 通道 衬底 外延 发光单元 导电层 欧姆接触层 正面 硬掩模 种子层 控制芯片 电镀 二氧化硅 光刻胶 包装盒 冷却水
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