一种用于VCSEL外延片检测的图像增强方法

本发明属于图像增强技术领域，具体涉及一种用于VCSEL外延片检测的图像增强方法，其方法包括：分析像素点的局部与全局灰度信息、结构张量特征，计算出每个像素点的缺陷显著值，用以量化其作为缺陷的可能性，以减弱外延片图像中条纹结构的干扰；并基于缺陷显著值构建加权直方图，使缺陷像素在直方图中占有更高权重；通过寻找加权直方图的能量中值点来确定最优分割阈值，最终利用分割阈值对图像执行BBHE增强。本发明能显著提升微小缺陷的对比度，为后续的外延片检测提供高质量图像，提高检测准确率。