基于玻璃微熔的机器人六维压力传感器敏感芯体制造方法

本发明涉及智能传感器领域，揭露了基于玻璃微熔的机器人六维压力传感器敏感芯体制造方法，包括：计算玻璃微熔结构对应的平膜片挠度，以分析敏感芯体在压力作用下的结构应变特性；计算敏感芯体在动态负载条件下的气粘系数，计算敏感芯体的压膜阻尼量；对敏感芯体进行温度循环测试，采集测试过程中的热零点漂移数据，分析敏感芯体的温漂稳定性；对敏感芯体进行标定测试，得到非线性度数据，评测敏感芯体的测量精度；以执行对敏感芯体制造工艺的优化处理，得到优化结果。本发明可以提高机器人六维压力传感器敏感芯体制造的工艺稳定性。