大尺寸光伏电池片多工艺掺杂设备温度控制方法及系统

本发明公开了一种大尺寸光伏电池片多工艺掺杂设备温度控制方法及系统，属于工艺控制领域该系统集成混合传感网络、数据融合处理模块、控制核心模块，以及执行等。其控制方法通过排气‑送气准备、温度采集与融合、参数计算（温度偏差|e|、偏差变化率|ec|、质量因子Q）、混合控制决策（适配扩散、氧化、热处理工艺）、执行调节及工艺切换排气等步骤，通过温度偏差|e|、偏差变化率|ec|和工艺质量因子Q确定混合系数α，通过混合系数α进行MPC控制与PID控制的权重分配进行控制，维持压力稳定在±5Pa，满足电池片对掺杂均匀性、膜层一致性的要求，提升生产良率与稳定性。