一种用于高分辨率干膜光刻胶制备的监测方法及系统

本发明涉及过程分析技术领域，揭露了一种用于高分辨率干膜光刻胶制备的监测方法及系统，包括：构建干膜光刻胶在制备流程的非接触传感器阵列，以实时采集干膜光刻胶在制备流程的多维时空数据流，对多维时空数据流进行数据融合，得到融合数据体；构建干膜光刻胶的多物理场耦合数字孪生体，分析干膜光刻胶的隐性质量指标，生成干膜光刻胶的耦合特征向量；计算干膜光刻胶的溶剂残留率、线边缘粗糙度以及高分辨临界曝光剂量，以分析干膜光刻胶的制备状态；分析制备状态的异常因子，以计算干膜光刻胶的参数调整序列；生成干膜光刻胶在制备流程的调控指令，以执行干膜光刻胶的制备监控。本发明可以提升干膜光刻胶制备的良品率和生产效率。