一种基于玻璃基板的光波导器件

本发明属于半导体器件技术领域，具体涉及一种基于玻璃基板的光波导器件，包括：玻璃基板和过渡层，所述过渡层的第一表面设置有X硅基波导层，所述X硅基波导层上集成有异质材料芯片层，所述X硅基波导层的第一表面包覆有保护层，所述保护层将所述玻璃基板、所述X硅基波导层和所述异质材料芯片层同时覆盖；其中，所述过渡层包含有与X硅基波导层相同的X元素，通过上述结构，提供了一种具有多层过渡功能区的光波导器件，能够应对大玻璃基板表面粗糙度较高，以及由于尺寸效应放大导致的翘曲可能性更高的问题，在充分利用玻璃基板低成本、高性能优势的前提下，实现抑制封装翘曲的大尺寸光波导器件设计。