一种基于玻璃基板的多功能光子器件

本发明属于半导体器件技术领域，具体涉及一种基于玻璃基板的多功能光子器件，包括：玻璃基板，所述玻璃基板的第一表面设置有过渡层，所述过渡层的第一表面设置有高折射率功能材料层作为波导层，所述高折射率功能材料层是指折射率大于或等于1.7的功能材料层，所述波导层包覆有保护层，所述保护层将所述玻璃基板、所述过渡层和所述波导层同时覆盖；其中，所述玻璃基板和所述过渡层之间形成第一边界层，所述过渡层和所述波导层之间形成第二边界层，本申请综合提供了一种具有多层缓冲结构的防翘曲光子器件，通过特定的分区设计和多层缓冲结构设计，能够对大尺寸光子器件的“放大效应”导致的翘曲加剧的情况实现至少部分地缓解或解决。