探针锁紧检测工装及探针电阻测量仪

本实用新型属于半导体技术领域，公开了一种探针锁紧检测工装及探针电阻测量仪，包括探针底座、探针、锁紧件以及锁紧感应组件，当探针被正确安装到探针底座中，并通过锁紧件将二者固定时，其锁紧力会使探针底座产生一定的微小形变；通过将锁紧感应组件安装在探针底座的探针安装区域，锁紧感应组件能够检测探针底座的形变量，并通过电阻变化来量化该形变量，用于判断探针是够达到锁紧要求。探针底座的形变量越大，说明锁紧力越大，锁紧感应组件的电阻值越小；当探针底座的形变达到预设阈值，锁紧感应组件、探针和探针底座形成导通电路，该导通电路的状态可以作为信号输入至探针电阻测量仪，实现自动化检测，避免人为误操作，提高检测效率。