一种晶圆盒包装袋的封口检测装置

本实用新型提供一种晶圆盒包装袋的封口检测装置，该封口检测装置包括位于同一水平面的四个抓夹，抓夹用于夹持并牵引包装袋封口的外端部，使整个封口呈现X形，之后通过吸盘分别吸附于单条压印带的两层薄膜层相对远离的外表面，通过相向远离的动作使两层薄膜层分离，从而显露压印带印褶的上边缘，之后通过喷头对印褶的上边缘喷射着色剂，通过观察印褶下边缘的渗染状况判定封口的密封性。观测过程可通过摄像机并结合视觉算法实现AI自动识别，从而有效监控当前目视导致的误判问题。该监控方式可进一步对包装设备热封程序合理性，评价高温布选型是否合理，评价操作员是否具备上岗资质做出判断，同时也降低了包装封口对晶圆颗粒污染的影响。