一种半导体花篮架及湿法设备

本申请公开了一种半导体花篮架及湿法设备，涉及半导体加工技术领域，其中半导体花篮架包括主体结构以及限位组件；主体结构包括两个平行间隔设置的主体架；限位组件包括第一固定限位件、第二固定限位件以及活动限位件；第一固定限位件连接在主体架之间的底部位置；第二固定限位件连接在主体架之间的两侧端位置；两个主体架相向的内侧壁上均设有沿竖直方向设置的活动凹槽；活动限位件的两端分别伸入活动凹槽；两个主体架相向的内侧壁上还均设有连通凹槽；连通凹槽的一端连通活动凹槽，另一端延伸至主体架的侧端壁。上述改进消除了定位块对横向空间的占用，从而避免了工件在装载过程中可能发生的磕碰问题，同时保留了花篮架内部所有工位的可用性。