摘要
本發明提供一種利用人工智慧多工影像辨識技術強化矽光子晶圓出口端光斑的耦光品質之方法,包含光斑成像採集步驟、影像預處理步驟、光斑分割與特徵提取步驟、強度判讀模型建立步驟、模型訓練與測試步驟及實際應用步驟。其可將關鍵特徵與光斑的光強度建立映射關係,以建立強度判讀模型;及依據訓練數據集訓練強度判讀模型,並依據測試數據集測試強度判讀模型,以得到具人工智慧之經訓練測試強度判讀模型,經訓練測試強度判讀模型用以判讀新的光斑影像。藉此,結合光學成像和人工智能算法,提供快速、準確及非接觸式的光強度測量新途徑。
技术关键词
光斑
影像
分割算法
人工智能算法
亮度
物理
元件
成像