概述

新产品·新工艺开发 静电卡盘又称为静电吸盘（ESC），在半导体设备中价值比较高的部件之一，是一种半导体工艺中的硅片夹持工具，利用静电吸附原理来固定硅片。 半导体部件、前工序设备、预期交付时间为6个月

需求详情

将陶瓷（氧化铝）粉末通过压制或其他成型工艺制成陶瓷片,在陶瓷片的上层使用导电材料印刷加热器图案, 这个步骤相当于在陶瓷片上制作电阻加热元件。然后再次在加热器图案上层叠加片材形成绝缘层，之后在氢气环境中进行烧结，完成陶瓷基板与加热器集成工艺。核心工艺在于均匀地印刷加热器并进行烧结，这是技术的关键。均匀印刷是确保加热器性能的基础。印刷的加热器图案精确且均匀分布，可以保证整个加热板加热的均匀性。如果加热器图案厚度不均匀，会导致局部区域发热不均，影响整体性能和寿命。烧结过程中温度的精确控制决定了材料的致密性、导电性和最终成品的性能。如果烧结不完全，可能导致陶瓷片的机械强度不足或加热器的导电性降低。因此，该单位正在寻找意向单位开展技术合作，实现带加热器的陶瓷静电卡盘制造及其方法创新

技术参数

指标单位当前水平或规格目标水平或规格温度均匀度℃≤3.0℃≤2.0℃片材厚度㎜5.0㎜5.0㎜陶瓷板平整度㎜≤70㎛≤50㎛