摘要
本发明公开一种基于碳基场效应晶体管型气体传感器的多气体识别方法,首先制备碳基场效应晶体管型气体传感器,然后测试碳基场效应晶体管型气体传感器在多种气体中的转移特性曲线;基于转移特性曲线以及变化模式,筛选表征各气体中转移特性曲线变化模式的特征变量;对于不同种类的气体,采用上述气体传感器检测获取转移特性曲线,提取对应的特征变量,利用第二识别算法,建立用于检测识别不同气体的气体检测模型;最后在使用时,对于待测气体,采用上述碳基场效应晶体管型气体传感器检测获取转移特性曲线,并提取对应的特征变量,然后利用所建立的气体检测模型,由此通过单一传感器的使用即可实现对复杂环境下多种气体的快速检测识别。
技术关键词
碳基场效应晶体管
气体识别方法
气体传感器
识别算法
网状碳纳米管
SiO2衬底
曲线
变量
待测气体
Pd纳米颗粒
聚类算法
独立成分分析
背栅结构
载流子迁移率
网状薄膜
二甲基硅氧烷
模式
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