光学度量装置

一种光学度量装置，包括：照明单元，其被配置为同时将第一照明光和第二照明光照射到衬底表面上，第一照明光以与测量角的差大于临界角的第一入射角照射，第二照明光以与测量角的差等于或小于临界角的第二入射角照射，第二照明光的波长不同于第一照明光的波长；光学系统，其被配置为收集根据第一照明光和所述第二照明光的来自衬底的表面的反射光；以及多通道相机，其被配置为基于由光学系统收集的反射光来生成其中衬底的表面的暗场图像和明场图像被整合的原始图像。